潔凈室空氣顆粒物檢測

潔凈室空氣顆粒物檢測

【簡介】

潔凈室的發展與現代工業、技術密切結合在一起。由于精密機械工業（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導體工業（如大規模集成電路生產）等對環境的要求，促進了潔凈室技術的發展。國內曾統計過，在無潔凈級別的要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔凈室已相當普遍。

【按氣流的流動狀態分類】

根據氣流的流動狀態分，主要有以下三種氣流分布的潔凈室

（1） 非單向流潔凈室：以前常稱為亂流型潔凈室，室內的氣流并不都按單一方向流動。非單向流潔凈室有幾個共同的特點：終端過濾器（高效或亞高效）盡量接近潔凈室，它可以就是送風口或直接連送風口，也可以接到房間的送風靜壓箱上；回風口均設在潔凈室的下部，目的是避免出現“揚灰"現象。非單向流潔凈室中都有渦流存在，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級的潔凈室中。

（2） 單向流潔凈室：單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動，并且在斷截面上風速一致，有垂直單向潔凈室，準垂直單向流，水平單向流潔凈室等。

（3） 矢量潔凈室：在房間的側上角送風，采用扇形高效過濾器，也可以用普通高效過濾器配扇形送風口，在另一側的下部設回風口，房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級（100級）潔凈度。

潔凈室的流型基本上是上述三種類型，但是實際應用時可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區域（單向流部分）實現高級別的潔凈室。例如，在潔凈室中設水平單向流的“隧道"（一側敞開），潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型，從而實現“隧道"部分達到5級以上潔凈度，工作臺就設在“隧道內"。

潔凈室空氣顆粒物檢測